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真空测量仪和真空度测量仪器是用于测量真空度的设备,它们在科研、生产、制造业等领域有广泛的应用,以下是一些常用的真空测量仪和真空度测量仪器:
真空测量仪
1、真空压力表:用于测量真空系统中的压力,常与其他真空技术设备配合使用。
2、真空计:一种用于测量真空系统中气压的仪器,常见的真空计有热电偶真空计、热电阻真空计等。
真空度测量仪器
1、热偶真空计(也叫热偶真空度计):通过测量气体热传导与热辐射在不同压力下的变化来推算真空度,这种真空计适用于从大气压到极高真空的测量范围。
2、电阻真空计(也叫皮拉尼真空计):通过测量气体分子的导电性来测量真空度,这种真空计适用于中等到高真空的测量范围。
3、离子真空计:通过测量气体分子在电场中的电离程度来推算真空度,适用于高真空的测量范围,还有电容式真空计、微波干涉式真空计等不同类型的离子真空计。
4、光电式真空计:利用光电效应原理测量气体分子对光的吸收程度来推算真空度,适用于某些特定气体成分的检测,光电式真空计还可以用于检测气体成分和浓度。
5、薄膜电阻真空计:利用薄膜电阻在真空中随温度变化而变化的特性来测量真空度,这种真空计具有响应速度快、精度高等优点,薄膜电阻真空计还可以用于测量温度等参数。
除了以上几种常见的真空测量仪和真空度测量仪器外,还有其他一些特殊应用领域的设备,如质谱仪、光谱仪等也可以用于测量和分析真空系统中的气体成分和性质,这些设备具有更高的精度和更广泛的应用范围,但通常价格较高且操作复杂,选择适合的真空测量仪和真空度测量仪器需要根据具体的应用需求和条件来决定。